DLC diamantový povlak je metastabilný amorfný tenký film, ktorý má vysokokvalitné charakteristiky diamantu a grafitu a má výhody dobrej tvrdosti, tepelnej vodivosti, nízkym koeficientom trenia, vynikajúcich elektrických izolačných výkonov, vysokou chemickou stabilitou atď. A je široko používaný v machinerijnom výrobe, biomedicíne, elektronických zariadeniach a iných poliach. Poter DLC sa pripravuje hlavne metódou akumulácie fyzickej akumulácie a akumulácie chemickej fázy a je vyrobený pomocou špeciálnych akumulačných zariadení. Nasleduje krátky úvod k piatim častiam, ktoré tvoria depozičné vybavenie povlaku.
1. Systém vykurovania a chladenia vody
Vykurovací systém a systém chladenia vody sú rovnomerne rozložené okolo akumulačnej miestnosti a teplota vykurovania, rýchlosť a objem vody sú ovládateľné a nastaviteľné a nainštaluje sa príslušné alarmové zariadenie; Rotačný systém je umiestnený v spodnej časti akumulačnej komory a je izolovaný izoláciou keramiky a rýchlosť rotácie je regulovateľná a nastaviteľná.
2. Vákuový systém
Vákuový systém pozostáva z mechanického čerpadla, koreňového čerpadla, difúzneho čerpadla a zodpovedajúcich riadiacich ventilov a meracích prvkov, ktoré sa môžu voľne prepínať medzi vysokým a nízkym vákuom podľa požiadaviek na proces.
3. Systém prívodu plynu
Systém prívodu plynu je umiestnený na hornej časti akumulačnej komory a odrody plynu zahŕňajú H2, N2, AR, CHA, C2H2 a plyn obsahujúci SI a dve rozhrania sú vyhradené v hornej časti akumulačnej komory, aby sa uľahčilo pridanie ďalších odrôd plynov v budúcnosti.
Aby sa získala prechodná vrstva obsahujúca SI, SiH4 sa zvyčajne používa ako materiálový plyn, ale SIH4 je nebezpečnejší, takže si vyberieme menej nebezpečný plyn obsahujúci SI ako zdroj SI v spracovaní povlaku.
4. Skladovací cieľový systém
Zariadenie má dve stohovacie jednotky, PVD a PCVD, primárny zámer jednotky PCVD je určený na akumuláciu diamantovo-podobných (DLC), zvolený zdroj napájania je zdroj napájacieho napájania pulzov, parametre sa môžu nastaviť jeden po druhom, po nastavení parametrov po naložení karty, a pri úprave karty, a pri úprave, po zaťažení, po úprave, po naložení karty, a pri úprave, po zaťažení, po naložení karty, a pri úprave, po naložení karty, a pri úprave, po naložení karty, a pri úprave, po naložení karty, a pri úprave, úplnom načítaní karty, pri úprave, po naložení karty. Môže byť tiež potiahnutý na komplexnom obrobku; Primárne zámery jednotky PVD sú: (1) pre rôzne substráty môžu byť rôzne ciele nahradené rôznymi cieľmi a môžu sa vyvinúť rôzne lepiace vrstvy alebo kovové DLC povlaky obsahujúce rôzne odrody prvkov; (2) Po výmene cieľa je možné vytvoriť rôzne zložené povlaky „funkčnej vrstvy + DLC“ pre rôzne kategórie.
5. Elektrický riadiaci systém
Elektrický riadiaci systém prijíma PLC úplné aktívne riadenie vrátane hostiteľského počítača, programovateľného regulátora PLC, prevodníka adaptačného prevodu, riadiaceho napájania, napájacieho napájacieho napájania a merania vzduchu, systému riadenia vzduchu, systému regulácie teploty, napájania na reguláciu detekcie chladiacej vody atď. v reálnom čase. Ak sa vyskytol problém, zariadenie sa stane iniciatívou na poplach a podľa úrovne alarmov zariadenie vyberie podmienku „čakania“ alebo priamo zastavuje a bude naďalej pracovať po odstránení alarmu. Záznamy operácie a záznamy alarmov každej pece sú aktívne uložené v počítači, aby sa uľahčila ľahká referencia. Podľa požiadaviek je možné zariadenie zmeniť na plne manuálnu prevádzku a parametre potiahnutia je možné upraviť v hlavnom prevádzkovom rozhraní počas procesu poťahovania.